1    范圍 本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個(gè)監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù),監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。 本文件適用于粒徑0.1μm~5μm粒子濃度的監(jiān)測。 本文件不適用于振動(dòng)或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測。超細(xì)粒子(小于0.1μm的粒子)濃度的監(jiān)測,將在另一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。 

2.規(guī)范性引用文件 下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文  件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。 GB/T25915.1—2021    潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境    第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)(ISO14644-1:2015,MOD)注:GB/T25915.1—2021被引用的內(nèi)容與ISO14644-1:2015被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異。 

 詳見GB/T 25915.2-2021《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測》